测量功能:圆度、同轴度、同心度、平面度、径向单跳动、轴向单跳动、平行度、垂直度。
测量波段:1-15upr, l-50upr, l-150upr,1-250upr,l-500upr,15-100upr,15-500upr,2-15upr,自定义
技术规格:
项目
RA16
RA160
旋转工作台
轴承类型
气浮/摩擦
旋转精度
(0.025+6H/10000)μm/(0.06+4H/10000)μm
旋转速度
6rpm
工作台有效直径
180mm
大工件直径(回转直径)
420mm
480mm
大测量直径
250mm
270mm
台面大承量
15kg/10kg
垂直轴(Z轴)
垂直移动
320mm
420mm
垂直移动方式
电动
大检测高度(离旋转工作台)
150mm
165mm
大检测深度
25mm
水平臂(R轴)
水平移动
150mm
165mm
突出量
25mm
水平移动方式
手动
检测器
采集器件
圆光栅
圆周采样点数
4096点
8192点
传感器类型
电感传感器
传感器量程
±300μm
传感器分辨率
高0.001μm